Last Updated： Aggregation Period:2025年10月08日～2025年11月04日
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ダブルホーク採用！ワークの搬入や投入時間を短くすることが可能な搬送ロボット！
株式会社システム技研の『大型FPD液晶基板搬送ロボット』は、 液晶分野関連製品の搬送ロボットです。 ダブルホークにより、ワークの搬出・投入タイムを最短にすることが 可能になっていて、さらに、プロセス機のプロセスタイムを有効に 活用することができます。 その他にも第5.5世代液晶基板に対応する「大型液晶基板搬送ロボット」や、 液晶基板カセットの保管・管理を行う「AGVステーション」などの 液晶分野関連製品を当社でご用意しております。 【特長】 ■液晶分野関連製品 ■ワークの搬出・投入タイムを最短にすることが可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。
ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
＜高精度・高速性・高剛性＞大気、真空用あらゆるサイズの仕様を取り揃えております！
当カタログは、半導体ウェハー及びガラス基板搬送用ロボットの専門メーカー株式会社アイテックの製品カタログです。 「ウエハー真空搬送ロボット(～450mm)」をはじめ、「GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代)」や、 「GLASS大気搬送ロボット(～G4世代)」などを掲載しております。 【掲載内容】 ■ウエハー真空搬送ロボット(～450mm) ■ウエハー大気搬送ロボット(～450mm) ■GLASS真空搬送ロボット(G2-G5世代) ■GLASS真空搬送ロボット(G5.5-G8.5世代) ■GLASS大気搬送ロボット(～G4世代) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
搬送ロボットは、確かな実績と高い品質のジェーイーエルにおまかせください。
ジェーイーエルは、1993年の創立以来、半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶硝子基板搬送用ロボットの専業メーカーとして、お客様のより良い製品づくりのお手伝いをして参りました。おかげさまで国内外1,800社を超えるお客様とお取引をいただいており、確かな実績と高い品質が「搬送ロボットはジェーイーエル」と言わる所以です。 弊社では生産システムと連携して一貫した工程管理を行い、短納期を実現しております。自社開発の生産システム（JOISYS）により受注情報、発注情報、在庫管理、工程管理情報、品質管理、開発情報、製品出荷情報を一元管理し、迅速な情報伝達及び納期管理と品質向上を実現しています。自社で開発設計から製品評価を短期間で完結できる社内体制を持ち、業界トップレベルのコストパフォーマンスに優れた製品の開発を中心に物つくりを行っております。また、ジェーイーエルの最大の強みはカスタマイズ対応力です。お客様のニーズを迅速に捉え、低コスト且つタイムリーな物つくりをモットーに柔軟に対応しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
全ての軸にACサーボモーター採用。2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Aシリーズ】
自社製の主要部品を搭載。 すべての軸にACサーボモーターを採用しています。 繰返し精度は最大±0.1mmで、2-12インチウエハに対応。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
P&P SYSTEM
人と機械のインターフェイス。 システム技研より、P&PSYSTEM商品のご紹介です。 ■□■ラインナップ■□■ ■容器検査装置 ■電子部品検査装置 ■管内面形状計測ロボット ■大型FPD基板搬送ロボット ■AGVステーション ■スタッカークレーン ■電子部品組立装置 ■自動仕分け装置 その他機能や詳細については、カタログダウンロード もしくはお問い合わせ下さい。
自動搬送ロボットPuduBotがハードディスク基板メーカーの品質検査工程において、検査サンプルの運搬に活用されている様子を紹介！
PuduBotは最大積載量30kgの自動搬送ロボットです。 施設内での煩雑な運搬作業を自動化することで、省力化・効率化を実現します。 今回はBellaBotがハードディスク基板メーカーで活用されている様子を紹介します。
新しい可能性をカタチに！ものづくりをトータルコーディネートいたします
株式会社ソーワエンジニアリングでは、半導体搬送装置の開発設計から 製作・組立までを一貫して承ります。 半導体装置メーカーへの納入実績27年。 真空雰囲気での搬送装置の為、高度な技術を必要とされます。 また、部品検査、出荷検査を行い、ISO9000に準拠した品質保証体制を 整えております。 【製品例】 ■ロボットリンク部 ■半導体基板搬送ハンドラー ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
全方向移動を2足歩行移動機構を用いずに、車輪で実現します。
土佐電子は、全方向移動時に生じる誤差や挙動のズレを集中コントロール するエンジンを1枚の基板におさめました。これにより、制御指示を出す 上位部に負担を掛けずにロボット内部でフィードバックをかけ 安定した移動を実現できます。 メカナムホイールは車輪の表面が車軸に対し45度傾けた樽(バレル)によって 覆われています。従来の車輪と同じ動きに加え、円周上の樽がフリーに なっているため、45度の方向に移動できます。4つのモータの回転方向と 速度制御を調整することで、全方向移動を実現します。 【特長】 ■2足歩行移動機構は用いず車輪で実現 ■全方向移動機構を支えるコアテクノロジー ■安定した移動が可能 ■集中コントロールするエンジンを1枚の基板におさめた構造 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
【研究開発用搬送ロボット・AGV】可搬重量120kg を実現したモンスターマシンの大型搬送ロボット
メガローバーF120は、好評発売中の二輪駆動搬送ロボットである「メガローバーVer2.1」をベースに、可搬重量を約120kgと大幅に強化した大型搬送ロボットです。 十分な可搬重量と、二輪制御による安定性・取り扱いの容易性などを生かし、様々な用途での研究開発に活用できます。 メガローバーF120においては、豊富な実績を誇るメガローバーシリーズの基本構成を踏襲しつつ、本体構造やモーター出力などを大きく強化しています。 ArduinoIDE対応、ROS対応といった特徴はメガローバーVer2.1からそのまま引き継いでいるため、用途の種別を選ばない、多様な運用が可能となっています。 また、メガローバーをベースとして開発を進めたプロジェクトにおいて、搬送ロボットの可搬重量を大幅に強化したいといったリプレース目的にも好適です。 【特長】 ■可搬重量約120kgを実現 ■二輪駆動の大型搬送ロボット ■有線 / 無線接続による制御 ■ROSメッセージ通信でコントロール ■Arduino IDEでプログラム可能 ■専用の無線コントローラで簡単操作 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
【AGV 自動搬送装置】テープいらずで、人間を認識して追従。２足歩行移動機構を用いずに、全方向移動を車輪で実現します。
全方向移動機構を支える確かな技術 お客様の要求仕様に合わせてカスタム対応承ります。 【コアテクノロジー】 土佐電子は、全方向移動時に生じる誤差や挙動のズレを 集中コントロールするエンジンを１枚の基板におさめました。 これにより、制御指示を出す上位部に負担を掛けずに ロボット内部でフィードバックをかけ安定した移動を実現できます。 ■全方向移動とは？ メカナムホイールは車輪の表面が車軸に対し45度傾けた樽(バレル)によって覆われています。 従来の車輪と同じ動きに加え、円周上の樽がフリーになっているため、 45度の方向に移動できます。4つのモータの回転方向と速度制御を調整することで、全方向移動を実現します。 ■導入事例 ・自動車工場、電子部品工場での搬送台車に採用 ・作業装置を載せたまま移動できるため、台車兼作業台に採用 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリレスを実現
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 ロボットのみで2FOUP対応可能 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
